氢气退火设备

氢气退火是半导体行业的标准工艺。Thermco针对扩散炉内氢气耗尽情况下的安全问题设计了专门的设备。

  • 氢气在惰性气体(如氮气、氩气)中的含量在5%以下无爆炸危险。
  • 氢气含量在5%—20%时采用低流量燃尽系统。
  • 氢气含量在20%以上采用间隙密闭门和高流量燃尽系统确保氢气燃尽保障安全。

低流量和高流量燃尽系统是验证可行的安保措施,可在设备翻新重装时增置或者与新设备一起订购。