外置火焰和气泡发生器

氧化过程如果单独使用氧气速度比较慢,所以只适用较薄的氧化膜。为了加速氧化,可以在管道中加入水或者蒸汽。最常见的两种方法就是用气泡或者蒸汽发生器。

DI(脱离子)水气泡发生器:

加热型气泡发生器通常用氧气或者氮气做运载气体。首先需要把水预热到90摄氏度,然后再导入运载气体。Thermco设备配有整套石英烧瓶和加热器。

 

 

 

 

外置火焰蒸汽发生器

为了获得最纯净的水蒸汽,可以在高温环境下混合氢气和氧气使其燃烧产生蒸汽。为了避免加工管内的温度变化影响产品纯度,蒸汽在独立蒸汽发生器内生成。该设备配有全套安全联动装置,包括:

  • 氢氧比例锁
  • 低温氧气锁
  • 高温氢气锁
  • 紫外火焰检测锁
  • 发生器和扩散炉内温度锁