其他更新升级

均匀废气排出器

标准废气排出器采用单排气孔设计,这种设计会引起气流回流污染加工过程。对于关键工艺,Thermco可以提供专门设计的均匀废气排出器来排气。

灯塔

客户可使用符合SEMI(半导体设备材料国际组织)标准的四色信号灯塔来达到安全标准。

SOS(智能超温感应器)超温控制板

旧式Thermco扩散炉有两块电路板分别负责温度监控和主板断路。现在可以用一块SOS超温控制板来取代旧设备,升级之后的优势有:

  • 明显减少错误关机和导致的产品损失
  • 提高断路热电偶检测和警报回路稳定性。
  • 简化系统维护和故障发现,尤其适用于遇到扩散炉控制系统故障或冗余热电偶失效的情况。

操作面板的双停止设计

该设计为防止意外启动“终止”功能提供双重保障。通过在面板上增加按钮,使得从“停止”状态转变为“终止”状态需要双重按钮来防止误按。