5000 & 6000扩散炉系列

5000和6000系列扩散炉专门用于加工150毫米的晶圆或125*125毫米的基片。其市场占有率充分证明了它们表现优异,性能可靠。

该系列可根据生产需求配置28-30寸或38-40寸的平台区。

6000系列添加了一系列特征以符合自动生产的要求。

该系列升级后可对200毫米晶圆进行中低温处理。

多种标准应用程序任君选择。

 

该系列配有行业领先的TMX控制系统,其PC-MUX用户界面采用图形化操作系统,易于设定配方,收集数据和进行分析。PC-MUX控制系统以SECSI/II(半导体设备通信标准I/II)为基础并融合LSCS(线程同步操作状态图)软件模块,可以与任意工厂MES(生产决策系统)或第三方自动化设备接合。

所有Thermco扩散炉都有一系列可选设计和升级服务以满足客户需求。