2000迷你系列(生产)

2000落地式科研与小规模生产系列

  • 2000系列适用于科学研究和小规模生产。
  • 该系列设有一个10-12寸的平台可以一次性加工50片晶圆。
  • 2000系列融合了Thermco先进的生产设计。
  • 该系列可以用来加工100,150以及200毫米的晶圆,也可同时加工多种尺寸。
  • 多种标准应用程序任君选择。
  • 该系列配有行业领先的TMX控制系统,其PC-MUX用户界面采用图形化操作系统,易于设定配方,收集数据和进行分析。
  • 所有Thermco扩散炉都有一系列可选设计和升级服务以满足客户需求。