2×60迷你系列(科研)

 

2×60台式扩散炉用于科学研究和小规模生产

  • 2000系列适用于科学研究和小规模生产。
  • 该系列设有一个10-12寸的平台可以一次性加工50片晶圆。
  • 2000系列融合了Thermco先进的生产设计。
  • 该系列可以用来加工100,150以及200毫米的晶圆,也可同时加工多种尺寸。
  • 2×60系列的独立工作台里配有内置气体箱。
  • PC-MUX控制系统作为标准配置包含在内。主要常压和真空CVD(化学气象沉积)工艺皆囊括在内。
  • 内置悬臂可用于手动或自动操作。
  • 系统可以叠放组合在原有设备上。
  • 所有Thermco扩散炉都有一系列可选设计和升级服务以满足客户需求。