2×10台式系列(科研)

2×10台式扩散炉用于科学研究和小规模生产

  • 2000系列适用于科学研究和小规模生产。
  • 该系列设有一个10-12寸的平台可以一次性加工50片晶圆。
  • 2000系列融合了Thermco先进的生产设计。
  • 该系列可以用来加工100,150以及200毫米的晶圆,也可同时加工多种尺寸。
  • 多种标准应用程序任君选择。
  • 2X10系列是台式系列的入门型号,采用电子温度控制系统。
  • 2X60系列配有悬臂装载设备可实现手动加载或全自动装载。
  • 系统可以叠放组合在原有设备上。
  • 所有Thermco扩散炉都有一系列可选设计和升级服务以满足客户需求。