NANO

Thermco有一系列针对纳米科技在科学研究和工业生产上的工艺设计,例如:CNT(碳纳米管),DLC(类钻碳),Si Nano(纳米硅)管,Graphenes(石墨烯)等等。标准化或专门设计的配方可用于掺杂或非掺杂薄膜的生产


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SEMICONDUCTOR

基于45年丰富的半导体行业经验,Thermco能满足当前所有半导体设备对硬件和工艺的需求,包括Bipolar(双极),IGBT(绝缘栅双极晶体管),MOS(金属氧化物半导体),BiCMOS(双极互补金属氧化半导体)和MOSFET(金属氧化物半导体场效应晶体管)。拥有全球最大的卧式扩散炉生产基地,我们的客户享有无可比拟的技术和硬件支持。



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MEMS

MEMS(微电子机械)设备薄膜的生产难度很大,它们即需要优良的电学或光学特性,又要低机械强度,高一致性并且要均匀的步阶式覆盖在厚沉积薄膜上。基于多年的经验技术,Thermco可以通过标准化流程快速有效地帮助客户构建个性化的MEMS工艺流程。


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SOLAR

PV行业的发展关键是产量和工艺。Thermco研发了领先的全自动设备以应对PV行业独特的工艺需求,包括POCL3, BBR3, BCL3,CVD Nitride(化学气象沉积氮化物), 干湿氧化技术和单晶硅和多晶硅的氢气退火。



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LED

LED是电子制造行业发展最快的领域。Thermco针对LED制造技术设计了专门的设备,包括低温退火,可空氮气环境下的基片装卸和超真空退火等等。


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T-CLEAN

作为一家拥有30多年经验的制造商,T-Clean一直专注于为半导体领域提供高品质的清洗和蚀刻设备,尤其擅长处理化学液体传送,晶圆自动化和工艺一体化等项目。


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Thermco Systems创立于1962年的美国加州奥兰治县。从那时开始Thermco就致力于生产世界领先的扩散炉设备。我们的设备广泛地应用于半导体,MEMS(微机电系统),Nano(纳米),LED和PV行业。今天Thermco拥有全球最大的卧式扩散炉生产基地。

Thermco总部位于英国Sussex省,伦敦Gatwick机场附近。我们的产品种类繁多,从适合科学研究的小型扩散炉到能满足大规模生产需求的大型设备应有尽有。一直以来,Thermco都致力于为半导体和光电行业提供先进的设备和优质的服务。最新的TMXpc 和PC-MUX控制系统是广为认可的行业标准。

除了标准化的设备, 我们也提供定制设计,产品翻新,自动化操作和设备租赁等等服务。